文章編號(hào)：(1993)03-35-3
用AES研究離子濺射TiC薄膜
朱勇 戚震中
(中國(guó)科學(xué)院固體物理研究所)
摘 要: 用AES研究了離子濺射TiC薄膜的成分分布及表面碳偏析。對(duì)升溫過(guò)程中出現(xiàn)的表面碳偏析和游離態(tài)碳鈦交互作用機(jī)理進(jìn)行了分析,給出了偏析熱力學(xué)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果表達(dá)式。
關(guān)鍵字: TiC薄膜 AES 碳偏析 交互作用
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Abstract:
Key words:
