文章編號：(1995)02-112-4
直拉硅中氮與氧的相互作用①
劉培東1 ，李立本1， 闕端麟1，佘思明2
(1.浙江大學高純硅及硅烷國家重點實驗室，杭州310027；
2.中南工業(yè)大學應用物理及熱能工程系，長沙410083)
摘 要: 應用紅外光譜技術研究了CZ硅中氮與氧的相互作用，實驗發(fā)現(xiàn)硅中氮的行為不僅與熱處理溫度有關，而且與熱處理時間、樣品的熱歷史等因素有關，由此得出，硅中氮與氧的相互作用實際上分為三個階段：(1)氮氧復合物的形成，(2)氮氧復合物的脫溶，(3)以氮為中心的氧沉淀的長大。
關鍵字: CZ硅 氮氧復合物 氧沉淀
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Abstract:
Key words:
